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제목
[재직자 교육] 박막형성 공정기술
작성자
엄상현
작성일자
2020-08-24
첨부파일

8월 20일(목)~21일(금) 까지 이틀동안 가족회사 임직원을 대상으로 반도체 공정실습실에서 "박막형성 공정기술” 교육을 실시 하였습니다. 

 

아주대학교 전자공학과 김상완 교수님 주관으로 반도체 소자 제작에 있어 필요한 박막형성 공정을 실습하는 과정으로 Wet Cleaning 및 화학기상증착 (CVD) 공정에 대한 실무 능력을 함양하는 교육입니다.

 

[주요 교육 내용]

 - Wet Cleaning(SPM Cleaning) 공정 실습

 - LPCVD를 이용한 Nitride Deposition 공정 실습

 - Ellisometry를 이용한 두께 측정, 통계 처리 및 산포 분석 실습

 

* 코로나19 방역지침에 따라 수시로 교육생 발열체크, 마스크 착용 및 소독제 사용 등 방역수칙을 준수하여 교육을 실시 하였습니다.