- 여기상태의 원자나 이온이 방출하는 빛을 측정함으로써 정성 및 정량을 분석하는 방법. 원자의 발광한 자유원자나 이온을 불안정한 에너지 상태로 여기시킬 충분한 열적 에너지 원인 아르곤 플라즈마가 필요하며, 이렇게 여기된 원자와 이온들은 보다 안정한 배열이나 기저상태로 떨어지면서 그 에너지 차만큼의 빛을 방출한다. 이때 방출되는 각 원소의 고유한 특성파장(정성)은 분광계에 의해 분리되고 검출기로 그 세기(정량)를 측정하여 시료 중의 원소 농도를 파악.

- RF Generat
① RF Frequency ; 40 MHz
② RF Power ; 750 - 1500 Watts
- Polychromat
① Wavelength range ; 163 - 782nm
② Measured resolution ; < 0.006nm at 200nm
- Plasma Viewing ; Dual (Radial+Axial) view

- 전기/ 전자제품에 있어서 유럽환경규제 대상이 되는 중금속 및 무기원소 분석이 필요한 모든 분야에 대해 폭 넓은 응용범위로 가지므로 소재의 특성을 규명, 연구하는데 사용.