- FE-SEM : 전계방출형 전자총에서 가속된 전자가 시료의 표면에 조사될 때 발생되는 2차 전자(secondary electron) 및 X-선으로부터 시료의 미세영상을 확대, 관찰하고 시료의 구성원소를 정성, 정량분석하며 시료의 내부에 침투한 전자가 다시 시료 밖으로 나올 때 생기는 전자량(back scattered electron)의 차이에 의해 조성원소 중 질량이 큰 원소와 작은 원소의 분포(composition)을 알 수 있는 고해상도 전자현미경이다.
- EDS : 시료 표면에서 방출되는 특성 X선의 파장과 강도를 X선 분광기로 측정하여, 그 미소영역에 0.1% 이상 함유되어 있는 원소를 정성 및 정량 분석하는 장치이다. 시료는 비파괴 분석법을 사용하므로 몇 번이고 재사용이 가능하다.

- Resolution : 0.6nm(15kV), 0.7nm (1kV)
- Electron gun : In-lens Schottky Plus field emission electron gun
- Accelerating voltage : 0.01 ~ 30kV
- Magnification
- Photo : ×25 ~ ×1,000,000 (120*90 mm)
- Display : x75 ~ x3,000,000 (1,280*960 pixels)
- Probe current : ~ 500nA
- Attachment : sdd type EDS

- 금속, 무기재료, 반도체, 고분자 등 광범위 시료의 미세구조 관찰
- 박막재료 및 반도체 재료의 국부 영역 상 관찰 및 박막두께 측정