- 단파장인 HeNe 혹은 Ar laser를 이용하여 X,Y,축은 물론 깊이 방향의 Z방향을 동시에 scan하여 초점이 맺히는 부분만을 합성, 하나의 3차원적인 IMAGE를 실시간으로 구성하는 장비.
- CFO search 에 의한 고정도 계측
- 전처리 불필요, 빠른 측정포인트 이동.

- The measure of 1.5nm to 1um widths[2-dimensional measurement]
- The measure of 1mm to 0.5um widths[3-dimensional measurement]
- A volume, capacity, surface area, etc..[3-dimensional measurement]
- The thickness of a thin, transparent film can be measured.
- Best suited f the analysis of roughness of about Rz 0.1um.
- Magnifications greater than 10,000×
- Observation area: 2,560×2,560um maximum

- MEMS등 초미세가공 image 관찰.
- 신소재 표면 관찰.
- 박형 소형 팩키징 치수 측정.